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Subnano3D干涉輪廓儀不得不說的優(yōu)點

更新時間:2020-09-25  |  點擊率:2130
Subnano3D干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上,以其納米級測量準確度和重復性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

Subnano3D干涉輪廓儀產(chǎn)品優(yōu)點:

1、美國硅谷研發(fā)的核心技術和系統(tǒng)軟件。


2、關鍵硬件采用美國、德國、日本等。


3、PI納米移動平臺及控制系統(tǒng)。


4、Nikon干涉物鏡。


5、NI信號控制板和Labview64 控制軟件。


6、TMC光學隔振臺。


7、測量準確度重復性達到不錯的水平(中國計量科學研究院證書)。


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