亚洲精品一区二区三区香蕉,久久精品国产亚洲AV无码男同,麻豆射区,国产成人免费一区二区三区

歡迎來到岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司網(wǎng)站!
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
咨詢熱線

4008529632

當(dāng)前位置:首頁  >  新聞資訊  >  接觸式光刻機(jī)的曝光方式大致可分為以下三種

接觸式光刻機(jī)的曝光方式大致可分為以下三種

更新時(shí)間:2022-02-15  |  點(diǎn)擊率:3294
  接觸式光刻機(jī)的核心原理就是一個(gè)透鏡組,在精度上首先咱們有個(gè)概念:我們現(xiàn)在芯片的線條精度已發(fā)展到10nm級(jí)別,而較大的原子直徑是將近1nm,我們把芯片放在電子顯微鏡下即可清晰地?cái)?shù)出每個(gè)線條上有幾個(gè)原子,“調(diào)節(jié)屈光度”是典型的幾何光學(xué)(初等光學(xué))概念,遠(yuǎn)遠(yuǎn)實(shí)現(xiàn)不了這個(gè)精度。
 
  接觸式光刻機(jī)的曝光方式:
  主要有三種,分別是接觸式曝光、非接觸式曝光和投影式曝光。
  1、接觸式曝光:就是將掩膜與還沒加工基片的光膠層直接接觸并進(jìn)行的曝光;
  2、非接觸式曝光:是指掩膜和基片的光膠層不直接接觸來實(shí)現(xiàn)圖形復(fù)印的曝光;
  3、投影式曝光:是指掩膜與基片不直接接觸,但用投影儀分方式來實(shí)現(xiàn)圖形轉(zhuǎn)移。
 
  接觸式光刻機(jī)的主要性能指標(biāo)有:
  支持基片的尺寸范圍,分辨率、對(duì)準(zhǔn)精度、曝光方式、光源波長(zhǎng)、光強(qiáng)均勻性、生產(chǎn)效率等。
  分辨率是對(duì)光刻工藝加工可以達(dá)到的最細(xì)線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統(tǒng)、光刻膠和工藝等各方面的限制。
  對(duì)準(zhǔn)精度是在多層曝光時(shí)層間圖案的定位精度。
  曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。
  曝光光源波長(zhǎng)分為紫外、深紫外和極紫外區(qū)域,光源有汞燈,準(zhǔn)分子激光器等。
人妻無码网| 日本 大香蕉| av免费网址在线观看| 激情综合五月丁香六月| 欧美精品丰满少妇| 欧美三级黄色日本| 手机在线 后入| 最近中文字幕免费mv视频7| 国模一二三区| 俺去啦官网地址| 国产九九黄色视频| 伊人欧美在| 国产精东天美AV影业传媒| 日韩在线三区| 激情综合7777| 高清无码首页| 大屁股精品视频导航| 久久久久久久久免费看无码| 欧美一级黄片免费看| 肥胖精品国产AV| 亚洲三级片毛片| 波多野结衣高潮40次| 日本av网址| 亚洲久热中文字幕在线| 日韩老熟| 韩日无码免费影院| 欧美·精品| 人人精品视频| 亚洲性无码AV中文字幕| 国产精品露脸视频| 超碰77人妻| 国产精品白嫩在线播放| 超乳爆乳中文在线视频| 一本大道无码人妻精品专区| 色夜av| 久久人体影院| 免费在线人成视频| www.日本黄色成人| 耒阳市| 日本精品少妇一区二区三区| 日本内射三级|