光學(xué)膜厚儀是一種非接觸式測量儀器,一般會運(yùn)用在生產(chǎn)廠商大量生產(chǎn)產(chǎn)品的過程,由于誤差經(jīng)常會導(dǎo)致產(chǎn)品全部報(bào)廢,這時(shí)候就需要運(yùn)用光學(xué)膜厚儀來介入到生產(chǎn)環(huán)境,避免這種情況的發(fā)生。
1、光源:寬光譜光源;
2、探測器:高靈敏度低噪音陣列式光譜探測器;
3、控制箱:含電路板、控制單元、電源、光源;
4、輸出設(shè)備:軟件界面支持輸出、輸入光譜數(shù)據(jù)庫。
系統(tǒng)特點(diǎn):
1、嵌入式在線診斷方式;
2、免費(fèi)離線分析軟件;
3、精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶有效地存儲,重現(xiàn)與繪制測試結(jié)果;
4、主要為半導(dǎo)體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進(jìn)口制程及測量設(shè)備。提供全面的一對一*,技術(shù)支持,備件管理和咨詢服務(wù)。
性能特點(diǎn):
1、快速測量:僅需1-2秒就可以完成一次測量;
2、測量范圍廣:可測量膜厚范圍從15nm-70um;
3、簡潔操作:常規(guī)操作,只需點(diǎn)擊一個(gè)按鈕就可完成操作;
4、高效穩(wěn)定:適用于工業(yè)現(xiàn)場,穩(wěn)定可靠;
5、經(jīng)濟(jì)實(shí)用:能夠滿足膜厚的常規(guī)測量,成本較低。
光學(xué)膜厚儀的使用注意事項(xiàng):
1、零點(diǎn)校準(zhǔn):在每次使用膜厚儀之前需要進(jìn)行光學(xué)校準(zhǔn),因?yàn)橹暗臏y量參數(shù)會影響該次對物體的測量,零點(diǎn)校準(zhǔn)可以消除前次測量有參數(shù)的影響,能夠降低測量的結(jié)果的誤差,使測量結(jié)果更加jīng確;
2、基體厚度不宜過?。涸谑褂霉鈱W(xué)膜厚儀對物體進(jìn)行測量時(shí)基體不宜過薄,否則會jí大程度的影響儀器的測量精度,造成數(shù)據(jù)結(jié)果不準(zhǔn)確,影響測量過程的正常進(jìn)行;
3、物體表面粗糙程度:對于被測物體的表面不宜太過粗糙,因?yàn)榇植诘谋砻嫒菀滓鸸獾难苌洌档土斯鈱W(xué)膜厚儀的測量精度,造成很大的誤差。所以被測物體的表面應(yīng)該盡量保持光滑,以保證測量結(jié)果的jīng確性。